「次世代半導体リソ光源と先進的デバイス・プロセスから生まれる異分野融合」を２月２８日にすずかけキャンパスで開催致しました。

　　日時：２０１７年２月２８日（火）１６：００ ～１８：００
　　会場：化学生命科学研究所　Ｓ２棟 ２階 第一／第二会議室
　　講師：未来産業技術研究所 筒井一生 教授、
　　　　　化学生命科学研究所 長井圭治 准教授、
　　　　　化学生命科学研究所 Christopher Musgrave 特任助教

　微細加工の次世代と長年期待されてきた極端紫外光(EUV)源の実用化と課題を長井から講演し、半導体デバイス・プロセス開発の観点から、筒井がコメントを広く述べるというスタイルで議論を深めました。本研究プロジェクトの趣旨に立ち、これまで交流のなかった研究者間の議論でしたが、日常の研究室ではあまり議論しない、ニーズとシーズの結合に論点が自然と集中し、俯瞰的な前提を共有できました。つまり、微細化のニーズはむしろ高まっており、それが汎用化、低コスト化する意義は、依然と強いものであるということです。

　細部に関しても、Musgraveの講演と議論がなされました。汎用な極端紫外光源ができたとすると、どの程度のスペックがラボスケールで出るのか？レジスト材料開発への貢献はどの程度のものになるだろうか？などなどです。参加者は教員５名、小林URA、及び学生と小数精鋭でしたが、新しい議論の必要性が浮かび上がり、次回は第三者を交えて議論をもつことになりました。
　懇親会ではワインを囲みながら、お互いの研究分野の歴史との関係、今後への期待などを語り合いました。 その席で、小林URAからは、「初回らしい素朴な疑問と回答・解説から議論が始まりましたが、後半の議論は異分野協働の可能性を強く感じる印象的なものでした。今後も議論を重ねて,、ユニークな共同研究が展開できるように、サポートさせて欲しい」というコメントがありました。
　最後になりましたが、採択頂いた委員の先生と、お忙しい時期にお集りいただいた先生方に、この場を借りて感謝申し上げます。